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兩步法制備CIGS薄膜的工藝研究

兩步法制備CIGS薄膜的工藝研究

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80280 | 大小:595.00KB | 下載:4444 次 | 上傳:2013-10-22

簡介:

本文主要研及究了"預(yù)制層硒化法"制備銅銦鎵硒(CIGS)薄膜的工藝。采用磁控濺射的方式制備In、Cu.Ga金屬預(yù)制層,然后進(jìn)行硒化(450℃)及退火處理(550℃)。

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