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PE工序再利用片的處理技巧

PE工序再利用片的處理技巧

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:79678 | 大。23.00KB | 下載:4407 次 | 上傳:2013-11-29

簡介:

PECVD工序是太陽能電池加工的第4道工序,此道工序的目的是利用射頻電源的輝光發(fā)電,使SiH4與NH3發(fā)生電離,在低壓、高頻、高溫的環(huán)境下在硅片表面沉積一層起減反射與鈍化作用的氮化硅藍(lán)膜,從而增加光的吸收,提高電池轉(zhuǎn)換效率。

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