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擴散部工藝培訓(xùn)

擴散部工藝培訓(xùn)

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級別:| 積分:100 分 | 瀏覽:80125 | 大。540.00KB | 下載:4426 次 | 上傳:2013-11-08

簡介:

擴散部按車間劃分主要由擴散區(qū)域及注入?yún)^(qū)域組成,其中擴散區(qū)域又分?jǐn)U散老區(qū)和擴散新區(qū)。擴散區(qū)域按工藝分,主要有熱氧化、擴散、LPCVD、合金、清洗、沾污測試等六大工藝。本文主要介紹熱氧化、擴散及合金工藝。

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